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詳細介紹
主動隔振平臺概述
STACIS® III是一種靈活主動隔振系統。STACIS主動隔振平臺系統采用*的慣性振動傳感器、*的控制算法和壓電致動器，通過連續測量地面活動，然后擴展和收縮壓電致動器來過濾地面運動，以實時消除振動。
STACIS**初設計用于隔離*半導體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設備，現已成為嘈雜環境（包括但不限于半導體工廠、失效分析實驗室、納米技術研究、納米制造設施和材料研究中心）中**敏感儀器的行業標準解決方案。
STACIS III主動隔振平臺系統包括一個全新的改進型數字控制器DC-2020。這款全新的**控制系統在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網以及USB串行端口，為用戶提供了現代化且易于使用的圖形用戶界面（GUI）。STACIS在已擁有數百個成功的安裝案例，是理想的隔振系統，適用于對振動**為敏感的儀器。
主動隔振平臺系統STACIS III的優勢
STACIS比空氣隔振器硬數百倍，沒有任何空氣隔振系統的局限性。它沒有“軟"懸架，與主動空氣系統不同，STACIS可以放置在帶有內部主動空氣隔振系統的工具下方，使兩個系統都在**狀態下運行。
的串行設計和專有的高力壓電技術，可實現0.6 Hz***150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90％的**主動隔振性能。
主動隔振平臺系統STACIS III特征
? **新改進型DC-2020數字控制器，提供易于使用的圖形用戶界面
? 隔振開始于0.6赫茲，1Hz時達到40％***70％的隔離率
? 頻率2赫茲和更高時，垂直和水平隔振率大于90％
? 降低基礎設施的要求和建設成本，即使有較大外界震動設備也可正常運行
? 有效隔振范圍，0.6Hz到150Hz
? 獲得眾多用戶的廣泛認可和肯定
? 6向自由度硬安裝設計，無需空氣懸架
? 強大的控制系統無需定期重新校準
? point-of-use設計方案，與客戶現有隔振系統無縫兼容
? 隨著外部環境改變，系統自動調節以適應不同外部震動情形
? TMC的STACIS®技術使用壓電執行器主動消振
? 數字控制器與基于PC的圖形用戶界面（GUI）
? 提高客戶產品產量、質量、成品率。
? 符合RoHS標準
? **寬的主動隔振帶寬，**的低頻隔振效果
? 亞赫茲的主動震動消除，**主要在0.6-6Hz頻段內的隔振
? 可堆疊式設計
? 主動硬式安裝結構、而非軟式懸浮、無低頻漂移、主動元件與剛性彈簧相連
? 被動彈簧濾除了來自STACIS傳感器的負載諧振，需要的調諧非常少，甚***無需調諧
? 由于阻抗不匹配，可兼容儀器內部隔離器
? 負載可達2000kg
? 市場上**的主動隔振系統
主動隔振平臺性能
使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模擬振動來測試4500磅（2045千克）有效載荷
主動隔振平臺規格
性能規格
| 主動自由度 | 6 |
| 主動帶寬 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| 被動固有頻率 | 18 Hz垂直和水平 |
| 有效的主動共振頻率 | 0.5 Hz |
| 1 Hz時的隔振 | 40% - 70% |
| ≥2 Hz時的隔振 | ≥90% |
| 10磅（4.5千克）步進輸入后的穩定時間（減少10:1） | 0.3秒 |
| 內部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 每個隔振器的工作負載范圍 | 低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克） |
| 中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克） | |
| 高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克） | |
| 剛度（1000磅 / 454千克質量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
| 從距離隔振器**4英寸（102毫米）處發射的磁場 | <0.02 μG broadbａnd RMSd> |
| 環境和安全 | 符合CE和RoHS標準 |
| 主動隔振元件 | **小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號，其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷 |
| 被動隔振元件 | 單個硬質各向同性彈性體（無需壓縮空氣源） |
| 振動傳感器元件 | 向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測量隔振器下方的地面振動，并提供與振動運動速度成正比的電壓 |
| 主動反饋控制回路 | 在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動 |
| 隔振器尺寸（寬 x 深 x 高） | 11.75 x 12.5 x 10.8英寸 300 x 320 x 275 mm |
| 隔振器重量 | 75磅（34千克） |
| 工作溫度 | 50° - 90°F 10° - 32°C |
| 儲存溫度 | -40° - 130°F -40° - 55°C |
| 濕度 | 30 - 60% |
| 系統電源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE標準 |
| 地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
| 每個系統的隔振器數量 | ***少3個 |
| 可選附件 | 層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調平裝置、抗震裝置、提升罩 |
| 尺寸（寬 x 深 x 高） | 19 x 8.5 x 1.75英寸 483 x 216 x 45 mm |
| 重量 | 6.3磅（2.9千克） |
| 處理器 | 150/75 MHz雙核 |
| 采樣率 | 10 kHz |
| 模擬輸出 | 16個通道 |
| 模擬輸入 | 16個通道 |
| 狀態燈 | 單個LED |
| 前面板端口 | 1個串行USB 2.0 1個串行Micro-USB 1個以太網RJ-45 2個BNC |
| 后面板端口 | 1個串行USB 2.0 1個以太網RJ-45 1個RS-232 DB-9傳統串行，用于傳統的STACIS 2100隔振器 |
| 用戶界面 | 前面板液晶顯示屏 超級終端上的字符菜單 適用于Microsoft Windows的擴展GUI 嵌入式以太網GUI |
STACIS用戶及應用領域
1、微電子、半導體
? 晶片檢測
? 顯微光刻技術
? 掩膜校準
2、科學研究、納米技術
? SEM、TEM
? STEM、SPM
3、激光臺
? 生命科學、藥物研發
4、工業應用
? 精密加工
為什么要選擇主動隔振系統？
? 從<1Hz開始強烈消除地面震動，氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振
? 提高質量、生產量
? 更加細小特色的成像能力
? 前沿研究
? 比氣動平臺更穩定
? 滿足SEM標準地點安裝參數的**解決方案
? 使得新實驗室及研究設備的工程造價更低
主動隔振系統為何選擇STACIS
? 正中了科研者的的心聲，提供了盡可能**的無震環境。
? 市場上**強勁的低頻隔振系統。
? 目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數要求，其需要的震動參數需要主動隔振系統才能滿足。
? STACIS**發明于1990s，經TMC進一步發展，開發和安裝了數以千計的主動隔振系統，這是主動隔振控制領域的提供的可靠解決方案。
STACIS相比氣動隔離器剛性大幾百倍
穩定時間作為對擾動的響應，由于的串聯式設計，而大大縮短，理想應用于機械制造、動態負載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。
如下優勢在業內都是**的
? STACIS的主動隔振帶寬為0.6Hz -150Hz
? 6個自由度的主動震動消除，在1Hz時隔振8-10dB
? 從2-3Hz時，隔振可達90% (20dB)
專業的環境調查
1、安裝前后的環境調查，包括震動、磁場、聲波
2、安裝后可提供環境系統體系認證
? 完善的環境調查服務
? 開具專業環境報告
? 提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案
? TMC基于其廣泛經驗向用戶推薦實用性方案
? 40多年的行業經驗，業內的**
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