主動隔振平臺STACIS IIIc

簡要描述：概述 STACIS IIIc是STACIS III**主動隔振系統的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。 STACIS IIIc非常適合在沒有或地板很低的活動地板上使用，因為標準STACIS III系

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廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-09-03
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概述

STACIS IIIc是STACIS III**主動隔振系統的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。

STACIS IIIc非常適合在沒有或地板很低的活動地板上使用，因為標準STACIS III系統的高度會使儀器過高。

在三隔離器配置中，隔離器高度小于常規STACIS III高度的60％。在具有3個以上隔離器的系統中，高度將在60％到70％之間，具體取決于有效負載設置。有關詳細信息，請參見下面的規格。

STACIS IIIc優勢

與常規STACIS III系統相比，隔離器高度**多降低42％，而性能卻沒有降低。

STACIS比空氣隔振器堅固數百倍，沒有任何空氣隔振系統的局限性。它沒有“軟"懸架，與主動空氣系統不同，STACIS可以放置在帶有內部主動空氣隔振系統的工具下方，使兩個系統都在**狀態下運行。

的串行設計和專有的高力壓電技術

可實現0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90％的**主動隔振性能。

性能

4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

性能規格

規格

主動自由度	6
主動帶寬	0.6 Hz - 150 Hz
被動固有頻率	18 Hz垂直和水平
有效的主動共振頻率	0.5 Hz
1 Hz時的隔振	40% - 70%
≥2 Hz時的隔振	≥90%
10磅（4.5千克）步進輸入后的穩定時間（減少10:1）	0.3秒
內部噪音	<0.1 nm RMSd>
每個隔振器的工作負載范圍	低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）
剛度（1000磅/454千克質量、中等承重能力隔振器）	40,000磅/英寸(73 x 10⁵牛/米)
從距離隔振器**4英寸（102毫米）處發射的磁場	<0.02 μG broadbａnd RMSd>

隔振器設計、尺寸、環境和效用要求

環境和安全	符合CE和RoHS標準
主動隔振元件	**小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號，其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷
被動隔振元件	單個硬質各向同性彈性體（無需壓縮空氣源）
振動傳感器元件	向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測量隔振器下方的地面振動，并提供與振動運動速度成正比的電壓
主動反饋控制回路	在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動
隔振器尺寸（寬x深x高）	14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.
隔振器重量	53磅（24千克）
工作溫度	50° - 90° F 10° - 32° C
儲存溫度	-40° - 130° F -40° - 55° C
濕度	30 - 60%
系統電源要求	100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE標準
地面位移	<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
每個系統的隔振器數量	至少3個
可選附件	層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調平裝置、抗震裝置、提升罩

DC-2020控制器規格

尺寸（寬 x 深 x 高）	19 x 8.5 x 1.75英寸 483 x 216 x 45 mm
重量	6.3磅（2.9千克）
處理器	150/75 MHz雙核
采樣率	10 kHz
模擬輸出	16個通道
模擬輸入	16個通道
狀態燈	單個LED
前面板端口	1個串行USB 2.0 1個串行Micro-USB 1個以太網RJ-45 2個BNC
后面板端口	1個串行USB 2.0 1個以太網RJ-45 1個RS-232 DB-9傳統串行，用于傳統的STACIS 2100隔振器
用戶界面	前面板液晶顯示屏超級終端上的字符菜單適用于Microsoft Windows的擴展GUI 嵌入式以太網GUI

STACIS用戶及應用領域
1、微電子、半導體
? 晶片檢測
? 顯微光刻技術
? 掩膜校準
2、科學研究、納米技術
? SEM、TEM
? STEM、SPM
3、激光臺
? 生命科學、藥物研發
4、工業應用
? 精密加工

為什么要選擇主動系統？
? 從<1Hz開始強烈消除地面震動，氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振
? 提高質量、生產量
? 更加細小特色的成像能力
? 前沿研究
? 比氣動平臺更穩定
? 滿足SEM標準地點安裝參數的**解決方案
? 使得新實驗室及研究設備的工程造價更低

主動系統為何選擇STACIS
? 正中了科研者的的心聲，提供了盡可能**的無震環境。
? 市場上**強勁的低頻隔振系統。
? 目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數要求，其需要的震動參數需要主動隔振系統才能滿足。
? STACIS**發明于1990s，經TMC進一步發展，開發和安裝了數以千計的主動隔振系統，這是主動隔振控制領域的提供的可靠解決方案。

STACIS相比氣動隔離器剛性大幾百倍
穩定時間作為對擾動的響應，由于的串聯式設計，而大大縮短，理想應用于機械制造、動態負載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。

如下優勢在業內都是**的
? STACIS的主動隔振帶寬為0.6Hz -150Hz
? 6個自由度的主動震動消除，在1Hz時隔振8-10dB
? 從2-3Hz時，隔振可達90% (20dB)

專業的環境調查
1、安裝前后的環境調查，包括震動、磁場、聲波
2、安裝后可提供環境系統體系認證
? 完善的環境調查服務
? 開具專業環境報告
? 提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案
? TMC基于其廣泛經驗向用戶推薦實用性方案
? 40多年的行業經驗，業內的**

應用照片